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产品名称:

等离子清洗机

描述:雅马拓YSP63FA等离子清洗机:可进行样品传输系统定制。可通过网络进行远程操作。
  • 更新时间:2024-06-15
  • 产品型号:YSP63FA
  • 产品厂地:上海市
  • 访问次数:1108

产品介绍

雅马拓YSP63FA等离子清洗机产品特点:
可进行样品传输系统定制。
操作快捷方便:放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。
软性基板也可以进行传送操作。
传送速度可在Hi-Low间调节。
可通过网络进行远程操作(选购品)。
提高各种材料的粘接性、表面改质处理
清洗各类基板。
电子部品、材料表面改质。
更容易嵌入生产线使用。
可通过操作面板自由切换等离子模式。

雅马拓YSP63FA等离子清洗机产品参数:

型号

YSP63FA

模式

RIE(DP模式选购)

高频输功率

600W

反应台尺寸

W385×D362mm

内腔尺寸

W395×D378×H45mm(内尺寸)

反应气体

2进气系统(氧气、氩气)

反应气体流量控制

质量流量控制器

真空泵

旋转式真空泵(约500L/min)

气体导入口

反应气体2个、填充气体1个、空气1个

外形尺寸

W1860×D1100×H1800mm

其它同类产品如下:
雅马拓YSP600U等离子清洗仪器:
产品特点:
样品传输系统为模块式,便于组合。
体积小,节省空间。
选用小型腔体,反应效率高。
更容易嵌入生产线使用。
可通过操作面板自由切换等离子模式。
配备冷却反应台。

技术参数:

型号

YSP600U

YSP2KU

模式

RIE(DP模式选购)

高频输功率

600W

2000W

反应台尺寸

W300×D300mm

W600×D600mm

反应气体

2进气系统(氧气、氩气)

反应气体流量控制

质量流量控制器

气体导入口

反应气体2个、填充气体1个、空气1个

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